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来源：凯发k8·[中国]官方网站 发布时间：2024-08-09
据日本冲绳科学技术大学院大学（OIST）官网最新报告◈★◈，该校设计了一种极紫外（EUV）光刻技术◈★◈，超越了半导体制造业的标准界限◈★◈。基于此设计的光刻设备可采用更小的EUV光源◈★◈，其功耗还不到传统EUV光刻机的十分之一◈★◈，从而降低成本并大幅提高机器的可靠性和使用寿命◈★◈。
在传统光学系统中◈★◈，例如照相机◈★◈、望远镜和传统的紫外线光刻技术◈★◈，光圈和透镜等光学元件以轴对称方式排列在一条直线上◈★◈。这种方法并不适用于EUV射线◈★◈，因为它们的波长极短◈★◈，大多数会被材料吸收◈★◈。因此◈★◈，EUV光使用月牙形镜子引导活色巅峰程晓蕊小说◈★◈。但这又会导致光线偏离中心轴◈★◈，从而牺牲重要的光学特性并降低系统的整体性能◈★◈。
为解决这一问题◈★◈，新光刻技术通过将两个具有微小中心孔的轴对称镜子排列在一条直线上来实现其光学特性◈★◈。
由于EUV吸收率极高◈★◈，每次镜子反射◈★◈，能量就会减弱40%◈★◈。按照行业标准◈★◈，只有大约1%的EUV光源能量通过10面反射镜最终到达晶圆k8凯发国际官网◈★◈，这意味着需要非常高的EUV光输出◈★◈。
相比之下◈★◈，将EUV光源到晶圆的反射镜数量限制为总共4面◈★◈，就能有超过10%的能量可以穿透到晶圆◈★◈，显著降低了功耗◈★◈。
新EUV光刻技术的核心投影仪能将光掩模图像转移到硅片上◈★◈，它由两个反射镜组成活色巅峰程晓蕊小说◈★◈，就像天文望远镜一样◈★◈。团队称◈★◈，这种配置简单得令人难以想象◈★◈，因为传统投影仪至少需要6个反射镜◈★◈。但这是通过重新思考光学像差校正理论而实现的◈★◈，其性能已通过光学模拟软件验证◈★◈，可保证满足先进半导体的生产◈★◈。团队为此设计一种名为“双线场”的新型照明光学方法◈★◈，该方法使用EUV光从正面照射平面镜光掩模◈★◈，却不会干扰光路◈★◈。
这样复杂的问题却这样简单的解决听起来很不可思议◈★◈。但试想一下◈★◈：如果你一手拿着两个手电筒◈★◈，并以相同的角度将它们斜对着你面前的镜子◈★◈，那么一个手电筒发出的光线将会始终照射到另一个手电筒上◈★◈。在光刻中◈★◈，这是不可接受的◈★◈。但如果你向外移动手电筒却不改变手电筒的角度◈★◈，从中间到两侧完全照亮◈★◈，光线就可以正常反射◈★◈，而不会与对面手电筒的光线“相撞”k8凯发国际官网◈★◈。这个巧妙的技术◈★◈，目前已申请了专利◈★◈，很可能会给全球EUV光刻市场带来巨大经济效益◈★◈。
catalogs:112275;contentid:12900488;publishdate:2024-08-02;author:张魏桔;file:33-e961c715-e87c-46c5-bf97-d28fdda42c68;source:29;from:科技日报;timestamp:2024-08-02 13:15:24;
截至8月2日◈★◈，今年西部陆海新通道铁海联运班列运输货物突破50万标箱◈★◈，为历史同期最高水平◈★◈。截至8月2日◈★◈，今年西部陆海新通道铁海联运班列运输货物突破50万标箱◈★◈，为历史同期最高水平◈★◈。
8月1日21时14分◈★◈，我国在西昌卫星发射中心使用长征三号乙运载火箭◈★◈，成功将卫星互联网高轨卫星02星发射升空◈★◈，卫星顺利进入预定轨道◈★◈，发射任务获得圆满成功◈★◈。8月1日21时14分◈★◈，我国在西昌卫星发射中心使用长征三号乙运载火箭◈★◈，成功将卫星互联网高轨卫星02星发射升空◈★◈，卫星顺利进入预定轨道◈★◈，发射任务获得圆满成功◈★◈。
当日◈★◈，在黄海和东海部分海域◈★◈，部分作业类型渔船结束为期3个月的伏季休渔期◈★◈，扬帆出海◈★◈，开展捕捞作业◈★◈。当日◈★◈，在黄海和东海部分海域活色巅峰程晓蕊小说◈★◈，部分作业类型渔船结束为期3个月的伏季休渔期◈★◈，扬帆出海◈★◈，开展捕捞作业活色巅峰程晓蕊小说◈★◈。
这是7月31日在湘潭县四新堤损毁堤段拍摄的施工现场（无人机照片）k8凯发国际官网◈★◈。当日◈★◈，湖南湘潭县四新堤的修复工作正式启动◈★◈。当日◈★◈，湖南湘潭县四新堤的修复工作正式启动◈★◈。当日◈★◈，湖南湘潭县四新堤的修复工作正式启动◈★◈。
7月31日◈★◈，浙江省温岭市石塘镇钓浜港内的渔船整装待发（无人机照片）◈★◈。8月1日12时◈★◈，在黄海和东海部分海域k8凯发国际官网◈★◈，部分作业类型渔船将率先结束伏季休渔◈★◈。8月1日12时◈★◈，在黄海和东海部分海域◈★◈，部分作业类型渔船将率先结束伏季休渔◈★◈。
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